Найден способ замедлить деградацию тонкопленочных нагревателей для газовых сенсоров

Российские ученые предложили использовать двухстадийную программу отжига, чтобы повысить высокотемпературную устойчивость тонкопленочных микронагревателей для газовых сенсоров. Распределение ...